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Glühentladungsprozesse von Chapman; Chapma-

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Zuletzt aktualisiert am 13. Jun. 2024 13:37:09 MESZAlle Änderungen ansehenAlle Änderungen ansehen

Artikelmerkmale

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Hinweise des Verkäufers: “Missing dust jacket; Pages can have notes/highlighting. Spine may show signs of wear. ~ ...

Binding: Hardcover

Weight: 1 lbs

Product Group: Book

IsTextBook: Yes

ISBN: 9780471078289

Subject Area: Technology & Engineering, Science

Publication Name: Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching

Publisher: Wiley & Sons, Incorporated, John

Item Length: 9.5 in

Subject: Physics / Electromagnetism, Aeronautics & Astronautics

Publication Year: 1980

Type: Textbook

Format: Hardcover

Language: English

Item Height: 1.3 in

Author: Brian Chapman

Item Weight: 30 Oz

Item Width: 6.4 in

Number of Pages: 432 Pages

Über dieses Produkt

Product Information

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

Product Identifiers

Publisher

Wiley & Sons, Incorporated, John

ISBN-10

047107828x

ISBN-13

9780471078289

eBay Product ID (ePID)

6038279070

Product Key Features

Number of Pages

432 Pages

Language

English

Publication Name

Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching

Publication Year

1980

Subject

Physics / Electromagnetism, Aeronautics & Astronautics

Type

Textbook

Subject Area

Technology & Engineering, Science

Author

Brian Chapman

Format

Hardcover

Dimensions

Item Height

1.3 in

Item Weight

30 Oz

Item Length

9.5 in

Item Width

6.4 in

Additional Product Features

Edition Number

Intended Audience

Scholarly & Professional

LCCN

80-017047

Dewey Edition

Illustrated

Yes

Dewey Decimal

537.5/2

Lc Classification Number

Qc711.8.G5

Table of Content

Gases. Gas Phase Collision Processes. Plasmas. DC Glow Discharges. RF Discharges. Sputtering. Plasma Etching. Appendices. Index.

1980

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