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Micro and Nano Fabrication Hans H. Gatzen - Bild 1 von 2

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Micro And Nano Fabrication von Hans-Heinrich Gatzen (2015, Gebundene Ausgabe)

buch-mimpf (20097)

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Titel: Micro and Nano Fabrication, Untertitel: Tools and Processes, Einband: Buch, Autor: Hans H. Gatzen, Verlag: Springer Berlin Heidelberg, Springer Berlin Heidelberg, Sprache: Englisch, Seiten: 548, Maße: 241x160x35 mm, Gewicht: 980 g, Verkäufer: buch-mimpf, Schlagworte: Fertigungstechnik Maschinenbau MEMS MNEMS Micro Electro-mechanical Systems NEMS Nano Electro-mechanical Systems Thin-film fabrication fabrication processes fabrication tools.

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Über dieses Produkt

Produktinformation

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.