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Micro And Nano Fabrication von Hans-Heinrich Gatzen (2015, Gebundene Ausgabe)

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Über dieses Produkt

Produktinformation

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.