Technologie hochintegrierter Schaltungen von Dietrich Widmann, Hans Friedrich und Hermann Mader (1996, Gebundene Ausgabe)

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Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben.
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