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Serielles Co-Sputtern | Buch | 9783838130835

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Zuletzt aktualisiert am 11. Mär. 2025 05:37:14 MEZAlle Änderungen ansehenAlle Änderungen ansehen

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Länge
mm
Breite
mm
Höhe
mm
Maße
xx mm
ISBN
9783838130835
Produktart
Lehrbuch
Format
Taschenbuch
Erscheinungsjahr
2012
Anzahl der Seiten
196 Seiten
Autor
Michael Austgen
Verlag
Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften
Publikationsname
Serielles Co-Sputtern
Sprache
Deutsch

Über dieses Produkt

Produktinformation

Schwerpunkt dieses Buches ist der Aufbau und die Inbetriebnahme einer vielseitigen Vakuum-Beschichtungsanlage auf Basis der Magnetron Sputterdeposition. Der simultane Betrieb mehrerer Beschichtungsquellen und die spezielle Prozessführung des seriellen Co-Sputterns erlauben eine kombinatorische Materialsynthese mit stufenlos variabler Stöchiometrie (oder variablem Dotierungsgrad). Zudem ermöglicht eine ausgeklügelte Gasseparation eine gegenüber dem konventionellen Co-Sputtern kontrollierbarere Prozessführung. Dadurch ist die Herstellung funktioneller Schichten sowie die Abscheidung von Legierungen möglich, welche aus physikalischen und fertigungstechnischen Gründen nicht als Target erhältlich sind. Das Verständnis der Prozessdynamik des seriellen Co-Sputterns wird hier am Beispiel der Prozesscharakterisierung der Ratenerhöhung der Metalloxide Al2O3 und TiO2 entwickelt. Durch Co-Dotierung mit schweren Atomen kann die Sputterausbeute des Metalloxids ohne erhebliche Mehrinvestition an elektrischer Leistung deutlich erhöht werden.

Produktkennzeichnungen

ISBN-10
3838130839
ISBN-13
9783838130835
eBay Product ID (ePID)
161224693

Produkt Hauptmerkmale

Verlag
Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften
Erscheinungsjahr
2012
Anzahl der Seiten
196 Seiten
Sprache
Deutsch
Publikationsname
Serielles Co-Sputtern
Produktart
Lehrbuch
Autor
Michael Austgen
Format
Taschenbuch

Zusätzliche Produkteigenschaften

Hörbuch
No
Inhaltsbeschreibung
Paperback
Item Height
1cm
Item Length
22cm
Item Width
15cm
Item Weight
310g

Artikelbeschreibung des Verkäufers

Rechtliche Informationen des Verkäufers

Ich versichere, dass alle meine Verkaufsaktivitäten in Übereinstimmung mit allen geltenden Gesetzen und Vorschriften der EU erfolgen.
USt-IdNr.: DE 323894069
Die Mehrwertsteuer wird auf meinen Rechnungen separat ausgewiesen.
BRN: HRB13914,HRB13914
Zusätzliche Angaben:
vertr. d. d. Geschäftsführer Kai Kretschmar - Handelsregister Paderborn HRB 13914 - Alternative Streitbeilegung: Die Europäische Kommission stellt eine Plattform für die außergerichtliche Online-Streitbeilegung (OS-Plattform) bereit, aufrufbar unter https://ec.europa.eu/consumers/odr/
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